ISO 14644.3洁净室及相关受控环境国际标准中文版附录A
附录A
(资料)
选项测试
除了表1和表2所列的各种规定的测试外,表A1列出各种选项测试,并可将其列入测试计划。
表A1——选项测试一览表
| 测试参数 | 等级 | 建议最大时间间隔 | 测试程序 |
| 已安装过滤器泄漏测试 | 全部等级 | 24 个月 | ISO14644-3 :— B.6 条款 |
| 气流流型测试 | 全部等级 | 24 个月 | ISO14644-3 :— B.7 条款 |
| 自净时间 | 全部等级 | 24 个月 | ISO14644-3 :— B.13 条款 |
| 污染泄漏 | 全部等级 | 24 个月 | ISO14644-3 :— B.14 条款 |
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